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Partikelfreie Energieführung Reine Präzision für die Chipherstellung

Ein Gastbeitrag von Jörg Ottersbach * 4 min Lesedauer

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igus GmbH
Jenaer Antriebstechnik GmbH
Meister Strömungstechnik GmbH
Fastems Systems GmbH

Die Halbleiterindustrie lebt von höchster Präzision, Dynamik und Zuverlässigkeit. Die Jenaer Antriebstechnik hat mit dem Ultrapräzisionssystem Fast 4PNP eine Pick-and-Place-Anwendung entwickelt, das Bauteile mit höchster Genauigkeit positioniert. Dafür kommt die E-Skin Flat von Igus zum Einsatz.

Die E-Skin Fat von Igus im Einsatz unter Reinraumbedichungen: Dafür wurde die Jenaer Antriebstechnik GmbH mit dem silbernen Vector Award ausgezeichnet.(Bild: Igus)
Die E-Skin Fat von Igus im Einsatz unter Reinraumbedichungen: Dafür wurde die Jenaer Antriebstechnik GmbH mit dem silbernen Vector Award ausgezeichnet.
(Bild: Igus)

Die Reinraumklassen nach ISO 14644 stellen höchste Anforderungen an alle Systeme, die in einem Reinraum zum Einsatz kommen. Das hat gute Gründe: In Reinräumen, wie sie etwa in der Halbleiterindustrie zu finden sind, können kleinste Verunreinigungen großen Schaden anrichten: Oft reicht ein Partikel aus und die teure Charge des Mikrochips ist irreparabel beschädigt.

Trotz der großen Herausforderungen werden Reinräume in der Industrie immer wichtiger: Die Halbleiterindustrie zählt zu den Schlüsselbranchen einer vernetzten Welt, auch die Bundesregierung und die Europäische Union treiben die heimische Chipproduktion voran. „Die Halbleiterindustrie gehört zu den absoluten Wachstumsmärkten“, sagt Volker Hille, Leiter der Business Unit Mechatronics bei der Jenaer Antriebstechnik GmbH (JAT) und Ideengeber eines Produkts, das passgenau für den Einsatz unter Reinraumbedingungen entwickelt wurde: das Ultrapräzisionssystem „Fast 4PNP“.

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